提高蓝宝石晶圆用倒角砂轮的使用寿命

课题
在全球节电的大潮中，LED快速普及，伴随微电子LED和迷你LED等新器件的上市，作为其衬底主流的蓝宝石晶圆的降低成本呼声越来越高。降低蓝宝石晶圆加工成本的课题之一是，在晶圆的倒角加工中，延长砂轮的修整周期，进而提高砂轮的使用寿命。

解決方法
着眼于曾是硅晶圆倒角用金属结合剂一大课题的修复功能，我们通过优化磨粒种类、结合剂硬度的组合，解决了砂粒敌不过高硬度材料时的“钝化”问题，以及通过始终保持砂粒的锐利解决了工件磨削碎屑附着到砂轮表面上的“堵眼”问题。