提高硅晶圆精加工用缺口砂轮（notch）的使用寿命

课题
硅晶圆凹槽部的质量要求逐年提高，缺口砂轮（notch）用砂粒也逐年细粒度化。提高使用#3000等细粒度砂粒的缺口砂轮（notch）的使用寿命成为一大课题。

解決方法
随着砂粒的细粒度化，砂轮的使用寿命呈现出缩短的倾向。但是，通过改善结合剂的硬度和强度，则可以提高缺口砂轮（notch）的使用寿命。此外，通过采用独家的齿刀技术AD-C，可以进一步提高使用寿命。

可以提供能对包括化合物半导体在内的各种晶圆进行加工的缺口砂轮（notch）。
此外，本公司还致力于推进硅晶圆用倒角砂轮、缺口砂轮（notch）的高精度化。